RENNISHAW雷尼紹光柵

附件REE/REF：

REE系列細分盒為更低等級的信號細分提供簡(jiǎn)單的“即插即用”解決方案。REE系列細分盒使數字正交輸出信號的分辨率提高了至少20倍。REE的三個(gè)模式，設計初衷是用于雷尼紹的鋼帶光柵系列，目前經(jīng)過(guò)驗證也可用于RLE。

提供十進(jìn)制和二進(jìn)制細分選項

REE和REF是具有創(chuàng )新意義的細分盒，可提供多種創(chuàng )新功能和x4096的一系列細分系數。讀數頭的光學(xué)濾波系統與接口的自動(dòng)增益、偏置與平衡控制相結合，可在任意速度下，將周期誤差（電子細分誤差 - SDE）控制在±50 nm以下。也可提供模擬輸出接口，它使用這種出眾的信號控制，通過(guò)適當質(zhì)量的模擬輸入來(lái)輸出高精度的1 Vpp信號。

高速

REE和REF都能產(chǎn)生行業(yè)標準的RS422A高速數字方波（在0.1 μm分辨率時(shí)為2.8 m/s），并提供多種更高的用戶(hù)可選的時(shí)鐘頻率（25、30、50 MHz），以確保與新一代高速主控制器兼容。REE細分1 Vpp光柵輸出，而REF細分來(lái)自超小型RGH25F和RGH20F讀數頭的*信號。

安裝簡(jiǎn)單

REE與REF都具有快速、可靠的校準步驟，可保證的安裝，還具有監控信號強度的三色LED安裝指示燈。為幫助實(shí)現安裝，在信號強度到達100% ±10%時(shí)LED指示燈亮藍色。還有一個(gè)設定行，其電壓與信號幅值成正比，用于遠程監控和診斷。

REF接口特性：
自調節主動(dòng)修正
REF接口主動(dòng)修正輸入信號的瑕疵，從而提高系統精度。主要進(jìn)行以下修正：
自動(dòng)偏置控制 (AOC) - 分別調整正弦和余弦信號的偏移量
自動(dòng)增益控制 (AGC) - 確保信號幅值一致，即1 Vpp
自動(dòng)平衡控制 (ABC) - 調整增益量，保持正弦和余弦信號相等
這些修正機制在讀數頭整個(gè)工作速度范圍內進(jìn)行修正。
用戶(hù)可通過(guò)按下校準按鈕3秒以上禁用/啟用AGC。

平面鏡系統性能 

角錐反射鏡系統性能 

Using 20 µm scale
REE0004 - 5 µm resolution
REE0020 - 1 µm resolution
REE0040 - 0.5 µm resolution
REE0100 - 0.2 µm resolution
REE0200 - 0.1 µm resolution
REE0400 - 50 nm resolution
REE1000 - 20 nm resolution
REE2000 - 10 nm resolution
REE4000 - 5 nm resolution
Using 40 µm scale
REE0004 - 10 µm resolution
REE0020 - 2 µm resolution
REE0040 - 1 µm resolution
REE0100 - 0.4 µm resolution
REE0200 - 0.2 µm resolution
REE0400 - 0.1 µm resolution
REE1000 - 40 nm resolution
REE2000 - 20 nm resolution
REE4000 - 10 nm resolution