新機床到廠(chǎng)安裝后，因運輸過(guò)程中的顛簸及環(huán)境溫度差異等原因，會(huì )造成機床位置精度變化，產(chǎn)生新的定位誤差。因此新機床經(jīng)安裝調試后須使用激光干涉儀對其位置精度進(jìn)行檢測評定，必要時(shí)進(jìn)行螺距誤差補償，以修正誤差值，達到機床驗收標準，保證機床加工精度要求。

　　

　　干涉儀所用激光的波長(cháng)為633nm，且其長(cháng)期波長(cháng)穩定性（在真空中）高于0.05ppm，是可對數控備（加工中心、三座標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線(xiàn)度、垂直度等）進(jìn)行精密測量的儀器。

　　

　　以新進(jìn)設備數控緩磨為例，其控制系統為SIEMENS840DSL，被測軸以X軸為例，檢測目的是驗收檢測，檢測項目為位置精度檢測。

　　

　　1、機床開(kāi)機回零后，運行熱機程序預熱15min。

　　

　　2、將激光干涉儀按布置連線(xiàn)圖進(jìn)行安裝連接，開(kāi)啟XL-80激光電源，預熱約5min。

　　

　　3、使用光靶快速準直光束。沿運動(dòng)軸方向將工作臺推離激光頭，直到光束開(kāi)始移開(kāi)光靶。當只有一半的光束擊中白點(diǎn)時(shí)停止移動(dòng)機床。

　　

　　4、編制測量運行程序。設置機床工件坐標系G59：X0Y0Z0，使之與機床機械坐標系一致；依據機床X軸實(shí)際測量參數。

　　

　　5、設置激光干涉儀線(xiàn)性測長(cháng)軟件。進(jìn)入測量向導，依次完成目標設定、采集數據啟動(dòng)、標題信息、自動(dòng)采集數據設定4個(gè)窗口的設置。其中在自動(dòng)采集數據設定中的公差窗口及越程量大小設置，依據以往經(jīng)驗，設定為機床實(shí)際越程的1/2，即公差窗口：0.5mm，越程量大?。?.5mm。如兩參數大于等于實(shí)際越程值，可能造成軟件采集錯誤數據或無(wú)法采集。

　　

　　完成上述設置后，進(jìn)入測量界面，先試運行機床，判斷數據方向，由于起點(diǎn)不為零，需先使用將數據手動(dòng)定義到起點(diǎn)100，啟動(dòng)機床檢測程序，進(jìn)行自動(dòng)采集數據。