美國API激光干涉儀的詳細資料：

激光干涉儀

激光干涉儀，關(guān)鍵字是激光和干涉。
干涉（interference）是兩列或兩列以上的波在空間中重疊時(shí)發(fā)生疊加從而形成新的波形的現象。對光源有一定的要求，而激光的三個(gè)特性能夠較好的發(fā)生干涉。
所以就出現了用激光干涉實(shí)現某種應用的儀器。
一般性應用都是測面型，距離，速度等。
因為兩束滿(mǎn)足特定要求的激光能夠產(chǎn)生干涉條紋，而兩束光的相差導致干涉條紋的能量分布發(fā)生變化。通過(guò)采集干涉條紋的能量，反計算相差從而計算出被測物的局部面型變化，或者位置變化。
具體分類(lèi)可分單頻和雙頻。常見(jiàn)的光路基本結構有傅里葉，法波等，基本上就是雙光束干涉或者多光束干涉原理。

技術(shù)參數：
5D/6D標準型： 
1. 線(xiàn)性：0.5ppm 
2. 測量范圍：40米（1D可選80米） 
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值 
4. zui大范圍：800角秒 
5. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒 
6. 直線(xiàn)度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值 
7. zui大范圍：500um 
8. 垂直度精度：1角秒 
9. 溫度：0.2攝氏度 
10.濕度：5% 
11.壓力：1mmHg 

5D/6D精密型： 
1. 線(xiàn)性：0.2ppm 
2. 測量范圍：25米 
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%顯示較大值 
4. zui大范圍：400角秒 
5. 滾動(dòng)角精度：0.5角秒 
6. 直線(xiàn)度精度：（0.5+0.1/m）um或1%顯示較大值 
7. zui大范圍：300um 
8. 垂直度精度：0.5角秒 
9. 溫度：0.1攝氏度 
10.濕度：3% 
11.壓力：0.3mmHg 

5D/6D高精密型： 
1. 線(xiàn)性：0.2ppm 
2. 測量范圍：根據用戶(hù)要求而定 
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒 
4. zui大范圍：500角秒 
5. 滾動(dòng)角精度：0.5角秒 
6. 直線(xiàn)度精度：（0.2+0.05/m）um 
7. zui大范圍：100um 
8. 垂直度精度：0.5角秒 
9. 溫度：0.1攝氏度 
10.濕度：3% 
11.壓力：0.3mmHg

主要特點(diǎn)：
1. 同時(shí)測量線(xiàn)性定位誤差、直線(xiàn)度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角 
2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器 
3. 可選的無(wú)線(xiàn)遙控傳感器zui長(cháng)的控制距離可到25米 
4. 可測量速度、加速度、振動(dòng)等參數，并評估機床動(dòng)態(tài)特性。 
5. 全套系統重量?jì)H15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時(shí)不需三角架 
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調整步驟，減少了調整時(shí)間

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