API美國*激光干涉儀的詳細資料：

API美國*激光干涉儀

 激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(cháng)可以直接對米進(jìn)行定義，且可以溯源至標準，是迄今*的高精度、高靈敏度的測量?jì)x器，在制造領(lǐng)域應用廣泛。 
    激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、抗干擾能力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術(shù)，可實(shí)現zui高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償；采用高性能計算機控制系統及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語(yǔ)言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡(jiǎn)潔化的記錄管理。
    激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、zui高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。

API美國*激光干涉儀

激光器發(fā)射單一頻率光束射入線(xiàn)性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì )有一個(gè)探測器監控兩道光束之間的干涉（見(jiàn)圖）。若光程差沒(méi)有變化時(shí)，探測器會(huì )在相長(cháng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。 
    若光程差有變化時(shí)，探測器會(huì )在每一次光程變化時(shí)，在相長(cháng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會(huì )被計算并用來(lái)測量?jì)蓚€(gè)光程之間的差異變化。

激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測量長(cháng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩頻氦氖激光為光源，構成一個(gè)具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線(xiàn)性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量?jì)x器的校正工作。

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